スケーリング則 1974 R.H.Dennsrd素子の微細化によって集積回路の高性能化が可能 ムーアの法則 約1.5年で2倍の性能向上もしくは1/2のコスト削減できる 微細化を進めることで集積回路の高クロック化、高集積化、多機能化、低電圧化が実現でる。 しかし、あるレベル以上まで微細化を進めると、 ゲート極の抵抗増大、ソース、ドレインからのリーク電流など、解決しなければならない。 [最大の技術課題は給電と放熱] [小型化を阻害する要因]
原子スイッチAtomic Switch